可之后也只是在极限工艺上做到了进步,在前几年将极限工艺做到了65n。
毕竟在真实历史上,光刻机产业在产业在193n波长上卡了将近20年
如何将工艺跨入到40n工艺,成为了阻挡在所有半导体厂商门口的拦路虎。
直到2002年,浸入式光刻技术的出现,将原先镜头与光刻胶之间的介质从空气换成了液体,从而利用光通过液体介质后光源波长缩短达成了提高分辨率的要求。
至于真正量产,那就还要靠后,一直到2007年蔡司公司推出的starith1900i,成为了第一款达到38纳米极限分辨率的浸没式光学器件,as公司继而才生产出跨越式的光刻机来。
而且这项技术最大的好处就是,其利用的还是原来的193n干式光刻技术平台,只不过是单纯的介质改变,其他的技术应用并没有太多改动,所以比起一项崭新的技术,更能让客户接受。
因为李皓的提前指点,徐教授带领的技术团队,早在去年就已经开始进行这方面的研究。
李皓就是要利用这停滞的时间,来给国产的光刻机争取时间。
当然,李皓也清楚的明白,徐教授口中的生产,只是实验室里面的成绩。
而且这还是提前使用了浸入式光刻技术的缘故,真要论起在干式光刻机上的技术,实际上徐教授他们比起as,还是要差上一些的。
并且从实验机到完全量产,还有很长的一断路需要走,但是李皓对此已经很欣慰了。
毕竟比起历史上同时代的空白处境,此时的国产光刻机,才是真的有了和世界其他公司对阵的希望,也不算是枉费李皓大笔投入进去的研究经费。
所以李皓也是拍着胸脯和徐教授承诺,一定会支持到底,就是砸锅卖铁也会把原定计划给完成下来。
好不容易给徐教授说的心血澎湃,把他给忽悠走后,李皓才和叶顺聊起了其中的困难。
虽然因为大环境不好,还有日本光刻机市场被抢的缘故,让它们有意向对外出售技术。
可是这个要价却是真的不便宜,要完全达到原先的计划,之前准备的资金还真的未必足够。
“钱的事你不用担心,我这里会给你准备足够的弹药,当然这次的金融危机还只是开始,日韩企业以后会受到的影响还将更大。
所以不用表现得太着急,毕竟钱可以备的充足,但是千万不能当冤大头。”
有了李皓的这个承诺,叶顺也就放心下来。
今天谈完了这件事后,叶顺从明天开始也就正式过上了放假生活。
于是李皓就问道“新年你准备怎么过,是要留在香江,还是要去国外”
叶顺闻言就一脸怨气“你这话问的,今年你就给我放那么四天的假,还不让我请年假,我不留在香江,还能去哪”
“没办法,今年确实是要忙一些,只能是让你辛苦一点了。
不过你放心,你的年终奖我都已经给你包好了,保证能让你满意。
而且等收购的事情结束后,我就给你好好放个长假,让你能到处去潇洒潇洒。”
叶顺有些不相信“真的,要不你现在给我写一个纸条吧,我总觉得你是在忽悠我。”
那李皓能写吗,这种东西怎么落到纸上,万一到时有事放不了呢。
“你竟然不信任我,那我真是太伤心了,之前我答应你的事,什么没做到。