激光频率控制器。
高灵敏距离感应器。
还有这个什么器,那个什么装置,卫明叫不出什么专业名称的东西。
三天内卫明一共搞了十几个。
然后让蒲伟才他们,把这些装置,塞入到了控制系统中,以极高精度要求,组装到了一起。
再开启了试运行。
“释放锡滴,初始频率每秒1滴。”蒲伟才进行指挥说道。
“开始释放”
“两次击打成功,摊平形状完美,激发效果完美”
“增加释放频率。”
“每秒50次试验成功。”
“每秒500次试验成功”
“每秒5150次试验成功追平最高纪录。”操作员声音微颤的道。
“继续增加往上加高一点”
蒲伟才也开始激动了,这才第一次进行调试而已,居然就追平了上一套零件不断调试数百次创造的最高纪录
“每秒5500次试验成功,已经创造新的纪录”
“再加”
每秒7000
每秒9000
每秒1万
一直加到每秒2万,满足使用频率要求。
所有人都被震惊到麻木,依然是取得成功
“再加,再往上加”
每秒3万
每秒4万
每秒4万5
每秒5万
“锡滴释放频率达到上限,特么还是取得成功”操作员毫无形象的狂喊。
“转化光强是额定光强的25倍”
向广林眼睛通红的大吼道“这意味着这台光刻机处理晶元的效率,至少艾思迈euv的两倍以上,我们一台,能顶他们两台”
“你们别叫”
蒲伟才高高挥起了后,盯着持续时间后的数据,极力压制情绪的说道“看看每秒5万滴锡滴,每秒10万次击打的情况下,这个系统能稳定工作多长时间你们别吵,你们的噪音,可能影响它的发挥。”
所有人都安静了下来。
屏住了呼吸。
目光都死死盯上了持续时间。
5分钟
15分钟
第29分38秒
由于累积误差越来越大,没有纠偏系统进行纠正,整个系统终于自动停止了运动。
啪
蒲伟才右拳用力轰击自己左掌,满脸涨红的说道“3分钟就足够了,原本只要3分钟,就不用配套设计非常复杂的纠偏系统了,没想到它坚持了足足半个小时我们只要设计一套非常简单的纠偏系统,就能让它长期稳定的工作了,整个系统的复杂度至少能降低10,给我们省下大量的时间”
“太厉害了,太神奇了”
作为项目负责人,他自己开始大呼小叫“光源问题彻底解决了,双工台现成就有,镜头完全能用,我们的euv光刻机,完成度至少超过90”
“我们完全看到胜利的希望了”
说着,他泪如坝崩,几欲捧面大哭一场。
毕竟十几年了,这一次,他是真的看到希望了,就在他的面前,已经触手可及。
见他如此,跟他一个团队的其他成员,也都擦着眼角,发出呜呜的声音。
“还没真成功呢,眼泪不如留到庆功宴。”
一个略有些扫兴的声音传来。