也要准备个几年时间
这怎么选择,不是一目了然嘛
但大侠就是大侠,中村拿到这个论文后,不是继续往下研究,而是放飞自我。
他决定试试在缓冲层中采用gan而非an的方法。
具体思路是在低温生长的非结晶状态的gan膜之上,在高温条件下生长出gan单晶膜。只要这个取得成功,就可以制出与在底板上直接生长单晶gan膜相同的构造。
按照这个思路,中村进行了尝试。
结果嘛,一次成功
这种方法的核心,是采用了低温 gan 缓冲层500 c左右替代了an缓冲层。这一基于低温gan缓冲层的“两步法”工艺,成为日后工业界生长gan基ed的标准工艺。
当然了,做出这步改良的理由,也是异常奇怪。中村给出的解释居然是,别人用过的方法,我不用
这种“二”的说话方式,成永兴也用过
不就是强词夺理嘛
谁不会啊
你有种
别人对的方法,你也别用
第四关,退火工艺。
ed从本质上说是一个二极管,二极管的核心结构是半导体 n 结。n 结是由 n 型半导体内部含有大量自由电子和 型半导体内部含有大量带正电的自由载流子空穴组成的界面。
对 gan 而言,n型掺杂比较容易实现,但 型掺杂却十分困难。在 gan 中经常使用的 型掺杂剂是 zn 或者 n 往往仍体现高阻特性,这意味着 型掺杂剂并没有被激活,没有起作用。
这个问题曾困惑了科学界很久,最后也是被天野浩解决的。解决方法是用低能电子束辐照方法来获得gan。
这个方法的发现,天野浩也是耗时很久。他从86年起就一直在尝试,直到89年,才突然碰运气得到。
在这个步骤上,中村大侠的“二”病再此发作
他再次推翻了前面科学家的研究成果,改为加热
这也就是所谓退火工艺的由来。
根据中村自己的解释,他是在非常偶然情况下,得到了这个意外结果。
在重复电子束照射实验前,他不小心把工作台给加热了于是,他就发现,在电子束辐照过程中,在样品下面加热可以获得更好的结果。
对此现象,他又继续研究,进而确认,仅仅依靠加热就可以获得gan。而退火工艺的原理,中村大侠并没有给出合理的解释。
从此,热退火就成为了制作蓝光ed的标准工艺,沿用至今。
当然了,事情是否真偶然,谁也不知道。
讲故事谁不会
退火工艺的背后原理,在很久以后才被人揭示。
gan 中的 ocvd 外延过程中引入的 h 钝化,形成 h络合物。无论是低能电子辐照还是热退火,都是通过借助外部能量破坏 h 键而激活 杂质。
这两个工艺步骤的实现,足以说明中村的逆天运气
前人耗时五六年的成果,他在很短的时间内,全部推翻,而且找到了更好的方式
而他发现的这些工艺步骤,即使在三十年后,也无人能改
有没有这么一种可能
这些工艺,之所以无人能改,因为它们实际就是三十年后的成熟工艺但被提前拿到了1990年